Substrat materialining xususiyatlariga, substrat yuzasining aniqligiga, sirt pürüzlülüğüne va zarracha ifloslantiruvchi moddalarning turlariga ko'ra, hozirgi lazerli tozalash usullarini quyidagi ikki toifaga bo'lish mumkin.
1) Lazerli quruq tozalash usuli. Lazer ob'ektning sirtini to'g'ridan-to'g'ri nurlantiradi, zarralarni ifloslantiradi yoki sirtdagi energiyani yutadi, so'ngra zarrachalarni sirtdan termal diffuziya, fotosurat dekompozitsiyasi va gazlash yo'li bilan tark etadi.
2) Lazerli nam tozalash usuli. Tozalanadigan material yuzasiga bir oz ifloslanmagan suyuqlikni (asosan suv, ba'zida spirtli ichimliklar) seping va keyin uni lazer bilan nurlantiring. Lazer energiyasini o'zlashtirgandan so'ng, suyuqlik muhiti portlovchi bug'lanishni hosil qiladi va atrofdagi ifloslanish zarralarini material yuzasidan uzoqlashtiradi. Bundan tashqari, lazerli birikmani tozalash usuli deb nomlangan taklif qilingan. Lazer energiyasi substrat moddasi tomonidan so'riladi, so'ngra adsorbsiyalangan oraliq muhit termal konveksiya bilan isitiladi va oraliq muhit portlovchi bug'lanishni hosil qiladi. Yuqori havo oqimi bilan boshqariladigan zarralar oraliq muhit bilan birga substrat yuzasidan ajralib chiqadi.
