EUU Litografiya mashinalarida zamonaviy chip ishlab chiqarishda juda muhim uskunalar va ularning asosiy quyi tizimlaridan biri - plazma (LPP) EUU yorug'ligi manbai hisoblanadi. Ilgari, ushbu manbaning global bozori asosan AQSh kompaniyasi tomonidan ishlab chiqarilgan Cymer tomonidan ishlab chiqarilgan CO2 lazerlariga tayangan. Ushbu lazers energiyani konversiya qilish samaradorligi 5% dan oshishi va ARML litbiyot mashinalari uchun haydovchilik manbai bo'lgan. ATML hozirda EUU yorug'lik manbalarini ishlatishga qodir bo'lgan yagona litografiya vositalarini ishlab chiqaruvchisi ushbu sohada 100% bozor ulushini yuritishga qodir. Biroq, Xitoyning Xitoy bo'yicha savdo departamenti, ASM va boshqa ChIP kompaniyalarining 2019 yildan beri Xitoyning Chip sanoatining rivojlanishiga xalaqit beradigan asmum va boshqa ChIP kompaniyalari tomonidan eksport nazorati doirasi tufayli Xitoyning Chip sanoatining rivojlanishiga to'sqinlik qilish taqiqlangan.
Ammo xitoylik tadqiqotchilar aniqlanmagan. Bir yillik mehnatdan so'ng, Lin Nan jamoasi Haydovchi yorug'lik manbai sifatida CO2 lazer o'rniga qattiq - shtatidan ko'ra yangi yondashuvni kashf etdi. Ayni paytda jamoaning 1 mkm qattiq - davlat lazerining maksimal konversiyasini 3,42% tashkil etdi. Hali 4% dan oshmagan bo'lsa-da, u Niderlandiya va Shveytsariyadagi ilmiy-tadqiqot jamoalari va tijorat yorug'lik manbalarining 5,5 foizini qayta ishlash samaradorligidan ustundir. Tadqiqotchilarning hisob-kitoblariga ko'ra, yorug'lik manbasining eksperimental platformasining nazariy jihatdan maksimal konversiyasi nazariyoti 6 foizga, kelajakda yanada yaxshilanish uchun imkoniyatlarga ega bo'lishi mumkin. Yaqinda Xitoyning Laser jurnalining 2025 sonining 2025 sonining 2025 sonining 2025 sonining muqovasida e'lon qilindi (mart oyi oxirida).
Ushbu qog'ozning tegishli muallifi Lin Nan, ushbu yutuqni o'zining ilmiy ma'lumotlari va tajribasi bilan qo'llab-quvvatlaydi. Ayni paytda u Shanxay optikasi va aniq mexanika instituti, xitoylik lazerlik fanlari va texnologiyalari bo'yicha ilmiy xodim, Xitoyning oliy texnikasi va Xitoyning asosiy texnik xodimi va Xitoy asbob-muhandislik jamiyatining asosiy texnik xodimi va Xitoy asbob-muhandislik jamiyati va Xitoy asbob-uskunalari jamiyati va Micro - Nano Xitoy Optik muhandisligi jamiyati qo'mitasi. Lin Nan ilgari ilmiy-tadqiqot olimi, keyin Gollandiyada ATML-DAK ilmiy-tadqiqot bo'limi boshlig'i sifatida ishlagan. Uning ilmiy-tadqiqot, muhandislik loyihasini rivojlantirish, yirik - miqdori integrallashgan va o'lchov uskunalarini qayta o'n yillik tajribaga ega. U AQSh, Yaponiya, Janubiy Koreya va boshqa mamlakatlarda 110 dan ortiq xalqaro patentlarga murojaat qildi va ko'plab litrografiya mashinalari va metrologiya uskunalariga kiritilgan. Shvetsiyada Lund universitetini tamomlagan va u 2023 yilgi Nobel mukofoti sovrindori Anne L'L'LELLER-dan o'tkazilgan. Shuningdek, u Parij - Iklay universiteti va Frantsiya Atom Energiya Agentligidan qo'shma doktorlik ilmiy darajasini oldi va Shveytsariyada "Etathik" ettotoskopiy tadqiqotlarini o'tkazdi.
Joriy yilning fevral oyida Lin Nan shogirdlari "Lazerlar va optoelektronika" jurnalining uchinchi sonida keng polosali varaqli giyohvand moddalar sxemasini nashr etdilar, bu esa keng polosali varaqli giyohvand moddalar sxemasini taklif etadi. Sxema 52,5% gacha konversiya samaradorligiga erishdi, bu yuqori darajadagi ultrabinafsha diapazonda yuqori konversion samaradorlik hisoblanadi. Hozirgi vaqtda tijorat yuqori bo'lganligi bilan taqqoslaganda, avtotransariy yorug'lik manbai, konveronik yorug'lik manbai, mahalliy litografiya o'lchov darajasi bo'yicha ko'proq yangi texnik yordam ko'rsatadi.
Dir Nan jamoasi tomonidan ishlab chiqilgan "Dir Lar" jamoasi tomonidan ishlab chiqilgan "Dir Laser" - - "direktori" CO2 - direktori "Co2 -" dan ajralib turadi. Qog'oz varaqasi atigi 3% ga teng bo'lsa ham, LPP - - induction kuchini etkazib berishni, ularni Euvni ta'sir qilish va niqob tekshiruvi uchun moslashtirishi mumkin. " Bundan farqli o'laroq, tijorat co2 lazerlari, yuqori - yuqori, past elektro, past elektro, past elektro, past elektro, past elektro. Qattiq - Boshqa tomondan, boshqa tomondan, so'nggi o'n yil ichida tezkor o'sib bordi, hozirgi paytda kilovatt-darajali elektr quvurlariga erishdi va kelajakda soat 10 martadan ko'proqqa yetishi kutilmoqda.
Sol - davlat lazeriga asoslangan tadqiqotlar davom etmoqda. Uzoq - Xitoyning mustaqil tadqiqoti va Euv litografiyasini va uning asosiy qismlari va texnologiyalarini rivojlantirish uchun ahamiyatga ega.
Ushbu oyda investor konferentsiyasi paytida, ASML CFO ROGER DASSEN Xitoyning Litzografiyasini almashtirish texnologiyasida erishilganidan xabardorligini va Xitoy Euv engil manbalar ishlab chiqarish imkoniyatiga ega ekanligini ma'lum qildi. Biroq, u hali ham Xitoy uchun ko'p yillar kerak deb ishonganiga ishongan, EVU Litografiyotexnika uskunalarini ishlab chiqaradi. Biroq, xitoylik tadqiqotchilarning notinchliklari va uzluksizligi asta-sekin ushbu kutilmoqda. 2024 yilda ASML 2,663 milliard evro, {{}} - yiliga 2,55% - yiliga 2,55% ga o'sdi. Xitoy o'zining eng katta bozoriga aylandi, 10,19 milliard evro miqdorida global daromadining 36,1 foizini hisobga olgan holda. Hozirgi yarimo'tkazgich eksportini boshqarish va tariflar bo'yicha ham, Xitoyda sotilgan savdolar 2025 yilda uning umumiy daromadining 25 foizidan ko'prog'ini hisobga olgan holda Xitoyda sotilishini kutmoqda. Xitoy chip sanoatining ko'tarilishi to'xtatilmaydi.
